Exploiting silicon oxycarbides for integrated photonic applications

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标题	Exploiting silicon oxycarbides for integrated photonic applications 开发碳化硅用于集成光子应用相关领域材料科学硅碳化硅溅射沉积扫描电子显微镜氩光子学光电子学椭圆偏振法表征（材料科学）溅射纳米技术薄膜复合材料化学有机化学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2306624
DOI	10.1117/12.2306624 doi
其它	期刊：作者：Faisal Ahmed Memon; Francesco Morichetti; Andrea Melloni 出版日期：2018-05-17
求助人	莫失莫颜在 2025-10-28 08:56:49 发布自江苏，悬赏 20 积分
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International Society for Optics and Photonics (SPIE)

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