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 Electrothermal MEMS grating based miniaturized spectrometer 基于电热MEMS光栅的微型光谱仪
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期刊： 作者：Jaehun Jeon; Myeong‐Su Ahn; Jung‐Woo Park; Gi Beom Kim; Ki-Hun Jeong 出版日期：2022-03-09 |
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