Voice coil motor-driven multi-DOF compliant parallel micropositioning stage based on a large range beam-based spherical hinge and fully symmetrical layout - 科研通

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标题	Voice coil motor-driven multi-DOF compliant parallel micropositioning stage based on a large range beam-based spherical hinge and fully symmetrical layout
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6439/ace918/...
DOI	10.1088/1361-6439/ace918 doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Yunzhuang Chen; Leijie Lai; Yu Fang; Limin Zhu 出版日期：2023-07-20
求助人	Jun 在 2026-08-10 20:28:38 发布自江西，悬赏 10 积分
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