On real-scale LIDT testing for high power, high repetition rate CO2 lasers for EUV lithography

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标题	On real-scale LIDT testing for high power, high repetition rate CO2 lasers for EUV lithography
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.3071914
DOI	10.1117/12.3071914 doi
其它	期刊：Laser-Induced Damage in Optical Materials 2025 作者：Florian Zentgraf; Marcel Murr; Kathrin Kromer; Adrian Schürg; Oliver Schlosser; et al 出版日期：2025-12-19
求助人	个性的夏云在 2026-07-10 20:48:39 发布自浙江，悬赏 20 积分
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Association for Research in Vision and Ophthalmology (ARVO)

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