Yttrium-doped aluminum nitride ceramics for dielectric layers in Johnsen-Rahbek (J-R) type electrostatic chucks

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标题	Yttrium-doped aluminum nitride ceramics for dielectric layers in Johnsen-Rahbek (J-R) type electrostatic chucks
网址	https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2025.09.211
DOI	10.1016/j.ceramint.2025.09.211 doi
其它	期刊：Ceramics International 作者：Nianying Zhou; Liang Hu; Chen‐Hui Li; Yuefang Peng; Yunxuan Wang; et al 出版日期：2025-09-22
求助人	伊索笔下在 2026-08-01 16:12:27 发布自广东，悬赏 10 积分
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