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Pioneering Carboxylated Zirconium Oxo Cluster Resist for Precision Nanoscale Patterning 相关领域
抵抗
纳米尺度
锆
星团(航天器)
纳米技术
材料科学
计算机科学
冶金
图层(电子)
程序设计语言
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10.2139/ssrn.5163917
Doi
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| 其它 |
期刊:Advanced Materials Technologies 作者:Seong‐Ji Ha; Jong‐Chul Yoon; Minkyeong Kim; Bo Kyu Kwon; Doojin Jeon; et al 出版日期:2025 |
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(2025-6-4)