Study of interaction between silicon surfaces in dilute ammonia peroxide mixtures (APM) and their components using atomic force microscope (AFM)

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标题	Study of interaction between silicon surfaces in dilute ammonia peroxide mixtures (APM) and their components using atomic force microscope (AFM)
网址	https://doi.org/10.1016/j.mee.2010.11.005
DOI	10.1016/j.mee.2010.11.005 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：S. Siddiqui; J. Zhang; M. Keswani; A. Fuerst; S. Raghavan 出版日期：2011
求助人	钟123 在 2026-05-21 15:18:46 发布自上海，悬赏 10 积分
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Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

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