Formation and suppression of carbon layer in SiC epitaxial wafer during multi-layer laser stealth dicing

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标题	Formation and suppression of carbon layer in SiC epitaxial wafer during multi-layer laser stealth dicing
网址	https://doi.org/10.1016/j.optlastec.2025.114458
DOI	10.1016/j.optlastec.2025.114458 doi
其它	期刊：Optics & Laser Technology 作者：Jie Li; Bo Liu; Fu Liu; Yanpu Li; Yi Zhang 出版日期：2026
求助人	研友_Z7WQzZ 在 2026-03-30 17:59:25 发布自河南，悬赏 10 积分
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