Synthesis and characterization of Al-doped ZnO and Al/F co-doped ZnO thin films prepared by atomic layer deposition

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标题	Synthesis and characterization of Al-doped ZnO and Al/F co-doped ZnO thin films prepared by atomic layer deposition
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S09215...
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
求助人	愉快素阴在 2026-03-26 11:35:27 发布自福建，悬赏 10 积分
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