Analysis of Heterostructure Formation of Abnormally Oriented Grains in Sputter-Deposited AlScN Films and Its Impact on Bulk Acoustic Wave Devices

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标题	Analysis of Heterostructure Formation of Abnormally Oriented Grains in Sputter-Deposited AlScN Films and Its Impact on Bulk Acoustic Wave Devices
网址	https://doi.org/10.1021/acsami.4c07539
DOI	10.1021/acsami.4c07539 doi
其它	期刊：ACS Applied Materials & Interfaces 作者：Xiyu Gu; Yan Liu; Xiaoming Huang; Jiaqi Ding; Yuanhang Qu; et al 出版日期：2024
求助人	ZZQ 在 2026-04-17 15:35:32 发布自湖北，悬赏 10 积分
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