Quantification method of stress depth distribution by micro-Raman spectroscopy for thin film nanomechanical resonator

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标题	Quantification method of stress depth distribution by micro-Raman spectroscopy for thin film nanomechanical resonator
网址	https://doi.org/10.35848/1347-4065/ab79ed
DOI	10.35848/1347-4065/ab79ed doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Masaki Saito; Shin’ichi Warisawa; Reo Kometani 出版日期：2020
求助人	认真学习的rr 在 2026-04-15 21:18:03 发布自重庆，悬赏 10 积分
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