Ab initio investigation of interfacial layer formation in the Mo∕Si boundary for extreme ultraviolet lithography

已完结

文献求助详情

标题	Ab initio investigation of interfacial layer formation in the Mo∕Si boundary for extreme ultraviolet lithography
网址	https://doi.org/10.1063/1.2943216
DOI	10.1063/1.2943216 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：In-Yong Kang; Yong-Chae Chung 出版日期：2008
求助人	Rita 在 2026-02-28 17:13:01 发布自浙江，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

关注科研痛点，打通你的七经六脉

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: NexusExplorer上传了应助文件

刚刚; zhuzhu发布了新的文献求助10

1秒前; SciGPT上传了应助文件

1秒前; 可爱的函函上传了应助文件

1秒前; 曾无忧的应助被尚欣雨采纳，获得10

3秒前; 曾无忧的应助被尚欣雨采纳，获得10

3秒前; darcy完成签到，获得积分10

4秒前; liang900530发布了新的文献求助10

5秒前; happpy发布了新的文献求助10

5秒前; 北极星发布了新的文献求助10

5秒前; if发布了新的文献求助10

5秒前; QQ完成签到，获得积分10

5秒前; 张鸿飞完成签到，获得积分10

5秒前; 易只羊发布了新的文献求助10

5秒前; YZY完成签到，获得积分10

5秒前; ruanyh发布了新的文献求助10

6秒前; 楼下太吵了发布了新的文献求助10

6秒前; XDM发布了新的文献求助10

6秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

7秒前; 爆米花的应助被满意的山灵采纳，获得10

7秒前; 烟花上传了应助文件

8秒前; 斯文的绿草发布了新的文献求助10

8秒前; 香蕉觅云的应助被言标采纳，获得10

8秒前; vv完成签到，获得积分10

9秒前; 智商洼地完成签到，获得积分20

9秒前; 研友_VZG7GZ上传了应助文件

10秒前; 科研小辉完成签到，获得积分10

10秒前; FashionBoy上传了应助文件

10秒前; 火锅底料发布了新的文献求助10

11秒前; 隐形曼青的应助被bread采纳，获得10

11秒前; 脑洞疼上传了应助文件

11秒前; 今后的应助被来杯牛奶采纳，获得10

11秒前; KeepGO2发布了新的文献求助10

11秒前; 星野上传了应助文件

13秒前; 森哥完成签到，获得积分10

13秒前; 小77完成签到，获得积分10

13秒前; 芒果里的大象发布了新的文献求助30

13秒前; 星辰大海上传了应助文件

13秒前; YYYHHH完成签到，获得积分10

13秒前; 顾矜的应助被热心的胡萝卜采纳，获得10

14秒前