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 Effect of deposition temperature on the microstructure and tribological properties of Si-DLC coatings prepared by PECVD 沉积温度对PECVD法制备Si-DLC涂层组织和摩擦学性能的影响
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期刊：Diamond and Related Materials 作者：Biao Huang; Lan-tian Liu; Sheng Han; Haoming Du; Qiong Zhou; et al 出版日期：2022-09-06 |
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