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 Physical vapor deposition simulator by graphical processor unit ray casting 相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Adam R. Thomas; Naresh B. Kotadiya; Binyu Wang; Tara P. Dhakal 出版日期：2023-10-31 |
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