发布文献求助
求助中
  • 文献求助详情
标题
Water-soluble bio-sourced resist interactions with fluorinated etching plasmas during the photolithography process
相关领域
抵抗 光刻 蚀刻（微加工） 材料科学 等离子体刻蚀 X射线光电子能谱 接触角 聚合物 红外光谱学 反应离子刻蚀 纳米技术 化学工程 纳米光刻 化学 有机化学 制作 复合材料 替代医学 图层（电子） 医学 工程类 病理
网址
https://doi.org/10.1116/6.0002934
AI链接 hal.sciencedoi.org
DOI
10.1116/6.0002934 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena
作者：Paule Durin; Olha Sysova; Alexandre Téolis; Stéphane Trombotto; Samar Hajjar‐Garreau; et al
出版日期：2023-10-31
求助人
搜集达人 在 2026-01-05 10:45:18 发布自四川，悬赏 10 积分
下载 暂无链接，等待应助者上传
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Low-temperature reactive ion etching and microwave plasma etching of silicon
  2. Transfer etching of bilayer resists in oxygen-based plasmas
  3. Residue‐Free Reactive Ion Etching of Silicon Carbide in Fluorinated Plasmas: II .
  4. Additives That Improve Positive Resist Durability for Plasma Etching
  5. Computer simulation of resist profiles at electron beam nanolithography
  6. Microfabrication Technique by Gas Plasma Etching Method
  7. Super-Resolution Patterning and Photolithography Based on Surface Plasmon Polaritons
  8. MICROFABRICATION TECHNIQUE BY GAS PLASMA ETCHING METHOD
  9. Defect analysis in 157-nm photolithography process
  10. Nanofabrication using transmitted and diffracted light manipulated by gap spacing
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 现在，等待您上传文献

  • 2天前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    10:45:22 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    10:45:19 科研通AI机器人（新加坡）收到请求，开始寻找文献
    10:45:18 已向机器人发送请求

  • 2天前

    搜集达人 搜集达人 Lv11 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
1秒前
2秒前
哇塞菌菌发布了新的文献求助10
2秒前
3秒前
Zurlliant发布了新的文献求助10
4秒前
4秒前
YukiXu发布了新的文献求助10
4秒前
5秒前
glmglm33完成签到 ，获得积分10
5秒前
6秒前
搞怪荧发布了新的文献求助10
6秒前
6秒前
6秒前
aaaaaawwwww发布了新的文献求助10
7秒前
青葱鱼块发布了新的文献求助10
8秒前
英俊的铭的应助被勤劳的白晴采纳，获得10
8秒前
夏xia完成签到 ，获得积分10
10秒前
caoruyuan完成签到，获得积分10
11秒前
11秒前
11秒前
11秒前
xxxx完成签到，获得积分20
11秒前
Wuyx发布了新的文献求助10
11秒前
onlywei发布了新的文献求助10
13秒前
16秒前
XUBALA发布了新的文献求助10
17秒前
18秒前
caoruyuan发布了新的文献求助10
18秒前
19秒前
无极微光的应助被shtnice采纳，获得20
19秒前
大个的应助被1sss采纳，获得10
20秒前
buno的应助被温暖访枫采纳，获得10
20秒前
蓝天的应助被温暖访枫采纳，获得10
20秒前
科研通AI6的应助被温暖访枫采纳，获得10
20秒前
林夕完成签到，获得积分10
21秒前
22秒前
丰富飞阳发布了新的文献求助10
22秒前
sapphire_yy完成签到，获得积分10
24秒前
Keira完成签到，获得积分10
24秒前
高分求助中
Clinical Microbiology Procedures Handbook, Multi-Volume, 5th Edition 临床微生物学程序手册，多卷，第5版 2000
List of 1,091 Public Pension Profiles by Region 1621
Les Mantodea de Guyane: Insecta, Polyneoptera [The Mantids of French Guiana] | NHBS Field Guides & Natural History 1500
The Victim–Offender Overlap During the Global Pandemic: A Comparative Study Across Western and Non-Western Countries 1000
Lloyd's Register of Shipping's Approach to the Control of Incidents of Brittle Fracture in Ship Structures 1000
Brittle fracture in welded ships 1000
King Tyrant 720
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 生物 医学 工程类 计算机科学 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 复合材料 内科学 化学工程 人工智能 催化作用 遗传学 数学 基因 量子力学 物理化学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5588492
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4671582
关于积分的说明 14787884
捐赠科研通 4625454
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2531836
邀请新用户注册赠送积分活动 1500428
关于科研通互助平台的介绍 1468314
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通