Generating an M2 × N2 spot array with a dual-period hybrid Dammann grating fabricated using maskless projection lithography

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标题	Generating an M2 × N2 spot array with a dual-period hybrid Dammann grating fabricated using maskless projection lithography 用无掩模投影光刻制作双周期混合达曼光栅产生M2×N_2点阵列相关领域栅栏光学材料科学平版印刷术光刻胶准直光衍射光栅投影（关系代数）光刻激光器光电子学物理计算机科学纳米技术算法图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1364/ol.488122
DOI	10.1364/ol.488122 doi
其它	期刊：Optics Letters 作者：DUO MIAO; Yuanyuan Zhao; SHUN-CHENG CAI; ZHI-XIANG LI; Jing Chen; et al 出版日期：2023-06-01
求助人	奥观海在 2023-09-25 14:40:49 发布，悬赏 10 积分
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