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 Effect of target poisoning ratios on the fabrication of titanium oxide coatings using superimposed high power impulse and medium frequency magnetron sputtering 靶中毒比对叠加大功率脉冲和中频磁控溅射制备氧化钛涂层的影响
相关领域
材料科学
高功率脉冲磁控溅射
制作
溅射沉积
脉冲（物理）
钛
溅射
氧化钛
中频
氧化物
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光电子学
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Bih‐Show Lou; Wei‐Ting Chen; Wahyu Diyatmika; Jong‐Hong Lu; Chen-Te Chang; et al 出版日期：2021-06-18 |
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