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 Effect of Intermolecular Interaction of Compound Surfactant on Particle Removal in Post-Cu CMP Cleaning 复合表面活性剂分子间相互作用对铜CMP后清洗中颗粒去除的影响
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| 其它 | Lijing Qu, Baohong Gao, Xuanshi Wang, Tongxi Wu and Baimei Tan |
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