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标题
4-Layer Wafer on Wafer Stacking Demonstration with Face to Face/Face to Back Stacked Flexibility Using Hybrid Bond/TSV-Middle for Various 3D Integration
4层晶圆对晶圆堆叠演示,具有面对面/面对面堆叠灵活性,使用混合键合/TSV-Middle实现各种3D集成
相关领域
堆积 薄脆饼 互连 材料科学 面子(社会学概念) 晶片键合 光电子学 图层(电子) 拓扑(电路) 电子工程 计算机科学 纳米技术 电气工程 物理 工程类 电信 社会科学 社会学 核磁共振
网址
DOI
10.23919/vlsitechnologyandcir57934.2023.10185308 doi
求助人
Soy_maya 在 2025-06-30 14:44:09 发布自上海,悬赏 10 积分
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