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 A resonant sensor composed of quartz double ended tuning fork and silicon substrate for digital acceleration measurement 一种用于数字加速度测量的石英双端音叉和硅衬底谐振传感器
相关领域
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材料科学
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期刊：Review of Scientific Instruments 作者：Cun Li; Yulong Zhao; Rongjun Cheng; Zhongliang Yu; Yan Liu 出版日期：2014-03-25 |
| 求助人 | |
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