Controlling the surface roughness of epitaxial SiC on silicon - 科研通

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标题	Controlling the surface roughness of epitaxial SiC on silicon
网址	https://aip.scitation.org/doi/pdf/10.1063/1.4879237
DOI	10.1063/1.4879237 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：N. Mishra; L. Hold; A. Iacopi; B. Gupta; N. Motta; et al 出版日期：2014-05-23
求助人	五音在 2026-10-12 18:18:51 发布自吉林，悬赏 20 积分
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