Enhanced Performance of STI CMP by Pre-Irradiation Optimization of a Ce 1– x Y x O 2 /D-PVA-Based Slurry - 科研通

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标题	Enhanced Performance of STI CMP by Pre-Irradiation Optimization of a Ce 1– x Y x O 2 /D-PVA-Based Slurry
网址	http://dx.doi.org/10.1021/acs.langmuir.5c05896
DOI	10.1021/acs.langmuir.5c05896 doi
其它	期刊：Langmuir 作者：Ning Xu; Yu Huo; Kailong Gao; Ziheng Gao; Yansong Wang; et al 出版日期：2026-03-12
求助人	小遇在 2026-10-14 17:28:20 发布自河北，悬赏 10 积分
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