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标题
SF6/O2 plasma for ICP/RIE SiC Etching
相关领域
蚀刻（微加工） 等离子体 材料科学 反应离子刻蚀 等离子体刻蚀 感应耦合等离子体 光电子学 纳米技术 物理 核物理学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1109/sbmicro64348.2024.10673868
DOI
10.1109/sbmicro64348.2024.10673868 doi
其它 期刊：
作者：R. R. César; M. Mederos; Frederico H. Cioldin; Renato Beraldo; Ricardo Cotrin Teixeira; et al
出版日期：2024-09-02
求助人
小小蚂蚁 在 2026-01-19 14:22:05 发布自浙江，悬赏 10 积分
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