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 At-wavelength metrology facility for soft X-ray reflection optics 软X射线反射光学的波长计量装置
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期刊：Review of Scientific Instruments 作者：Andréy Sokolov; Peter Bischoff; F. Eggenstein; A. Erko; A. Gaupp; et al 出版日期：2016-05-01 |
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