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标题
The Impact of Variations in Heat Carried by Cutting Slurry on the Warpage of 300 mm Silicon Wafers
切割浆料携带热量变化对300 mm硅片翘曲的影响
相关领域
切片 锭 薄脆饼 泥浆 材料科学 硅 复合材料 冶金 偏移量（计算机科学） 热的 变形（气象学） 单晶硅 热膨胀 多晶硅 工程制图 温度控制 点（几何） 机械工程 温度梯度 图像扭曲
网址
https://doi.org/10.1142/s0219686727500247
DOI
10.1142/s0219686727500247 doi
其它 期刊：Journal of Advanced Manufacturing Systems
作者：Yanxiang Zhao; Rui Yang; Bo Cheng; Liguang Wang; Zhongbao Wang; et al
出版日期：2025-10-23
求助人
系紧鞋带 在 2025-12-11 14:37:42 发布自江苏，悬赏 30 积分
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