Workload Balancing for Photolithography Machines in Semiconductor Manufacturing via Estimation of Distribution Algorithm Integrating Kmeans Clustering

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标题	Workload Balancing for Photolithography Machines in Semiconductor Manufacturing via Estimation of Distribution Algorithm Integrating Kmeans Clustering 相关领域聚类分析 k均值聚类工作量计算机科学半导体器件制造光刻算法工程类人工智能材料科学光电子学操作系统电气工程薄脆饼
网址	https://doi.org/10.1109/tsmc.2025.3572370
DOI	10.1109/tsmc.2025.3572370 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Systems Man and Cybernetics Systems 作者：L. D. Chen; Yan Qiao; Naiqi Wu; Mohammadhossein Ghahramani; Y. Shao; et al 出版日期：2025-06-04
求助人	Zizi 在 2026-01-31 01:57:59 发布自山东，悬赏 10 积分
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