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标题
Electrical conductivity of sidewall-deposited fluorocarbon polymer in SiO2 etching processes
网址
http://dx.doi.org/10.1116/1.1520551
DOI
10.1116/1.1520551 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena
作者：T. Shimmura; S. Soda; S. Samukawa; M. Koyanagi; K. Hane
出版日期：2002-11-01
求助人
cyyan 在 2026-08-10 16:52:42 发布自上海，悬赏 10 积分
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  • 12天前，求助关闭

    cyyan cyyan Lv5 求助人 关闭了本次求助。

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  • 12天前

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