Effect of oxidation temperature on the inhomogeneity of chemical composition and density in nanometric SiO 2 films grown on 4H-SiC

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标题	Effect of oxidation temperature on the inhomogeneity of chemical composition and density in nanometric SiO 2 films grown on 4H-SiC
网址	http://dx.doi.org/10.1039/d0tc05988a
DOI	10.1039/d0tc05988a doi
其它	期刊：Journal of Materials Chemistry C 作者：Paweł Kamiński; Rafał Budzich; Jarosław Gaca; Paweł Piotr Michałowski; Roman Kozłowski; et al 出版日期：2021-01-01
求助人	大气的画板在 2026-07-03 18:34:41 发布自美国，悬赏 10 积分
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