A Lithium Niobate Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Operating in Thickness-Field-Excitation Mode With Enhanced Acoustic Emission

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标题	A Lithium Niobate Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Operating in Thickness-Field-Excitation Mode With Enhanced Acoustic Emission
网址	https://www.semanticscholar.org/paper/c6df5d06bb934f0fa4d83d...
DOI	10.1109/jmems.2026.3668053 doi
其它	期刊：Journal of microelectromechanical systems 作者：Zhiquan Liu; Xianhao Le; Xiongfeng Wang; Yang Jiang; Qing Wan; et al 出版日期：2026-06-01
求助人	Xianhao 在 2026-07-03 11:04:31 发布自浙江，悬赏 10 积分
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