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标题
Heterogeneous GaN-Si integration via plasma activation direct bonding
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.jallcom.2020.156933
DOI
10.1016/j.jallcom.2020.156933 doi
其它 期刊：Journal of Alloys and Compounds
作者：Takashi Matsumae; Mu Fengwen; Shoya Fukumoto; Masanori Hayase; Yuichi Kurashima; et al
出版日期：2021-01-01
求助人
小谷 在 2026-08-19 15:11:02 发布自山东，悬赏 10 积分
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