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Enabling Merged 3D NAND Memory Hole and Interlayer Dielectric (ILD) Contact Etches with Deposition and Etch Co-Optimization (DECO)
网址
https://doi.org/10.1109/imw61990.2025.11026958
DOI
10.1109/imw61990.2025.11026958 doi
其它 期刊：
作者：John Hoang; George Matamis; Calvin Pham; Hao Chi; Jonathan Church; et al
出版日期：2025-05-18
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Joyezhou 在 2026-08-15 14:13:27 发布自广东，悬赏 10 积分
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