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标题
Dopant activation and deep levels in Al-ion channeling-implanted 4H-SiC
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DOI
10.35848/1347-4065/ae312e doi
其它 期刊:Japanese Journal of Applied Physics
作者:Shota Kozakai; M. Kaneko; Tsunenobu Kimoto
出版日期:2025-12-25
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翟肇永 在 2026-07-22 13:31:05 发布自天津,悬赏 10 积分
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