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标题
Highly repeatable dry etch corner rounding solution for 0.11 μm shallow trench isolation
网址
https://doi.org/10.1116/6.0001897
DOI
10.1116/6.0001897 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B
作者：Wenwen Zhang; Yongzhi Fang
出版日期：2022
求助人
cc 在 2026-06-20 13:41:54 发布自江苏，悬赏 10 积分
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