Leak-Tight Piezoelectric Microvalve for High-Pressure Gas Micropropulsion

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标题	Leak-Tight Piezoelectric Microvalve for High-Pressure Gas Micropropulsion
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx5/84/29554/01341455.pdf?ar...
DOI	10.1109/jmems.2004.835767 doi
其它	期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：E.-H. Yang; C. Lee; J. Mueller; T. George 出版日期：2004-10-11
求助人	Canon不肉在 2026-09-09 11:30:38 发布自浙江，悬赏 10 积分
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