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Low volume shrinkage, alkaline degradable UV nanoimprint lithography resists based on acrylic anhydride |
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期刊:Nanoscale 作者:Chuan-Zhe Zhao; Ya-Juan Cai; Yi-Xing Sun; Ya-Ge Wu; Ke-xiao Sang; et al 出版日期:2025-01-01 |
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(2025-6-4)