Impact of fluorine plasma treatment on AlGaN/GaN high electronic mobility transistors by simulated and experimental results

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标题	Impact of fluorine plasma treatment on AlGaN/GaN high electronic mobility transistors by simulated and experimental results
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2016.01.027
DOI	10.1016/j.mee.2016.01.027 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：Zhu Gao; Bin Hou; Ying Liu; Xiaohua Ma 出版日期：2016-03-01
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