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两种混配型镧前驱体的热力学性能及其原子层沉积La2O3薄膜性能研究
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两种混配型镧前驱体的热力学性能及其原子层沉积La2O3薄膜性能研究 赵文勇周洪丁玉强 江南大学化学与材料工程学院 摘要：本文通过两步法合成得到两种混配型镧配合物，La（tmod）3-DMEA（tmod=2,2,6,6-四甲基-3,5-辛二酮根，DMEA=N,N'-二甲基乙二胺,1）和La（tmod）3-MEDA（MEDA=N-甲基乙二胺, 2），并用1H NMR,13C NMR，元素分析和X射线单晶衍射对配合物进行了表征。X射线单晶衍射的结果显示，配合物1和2均为单体结构。热重结果证明含N双齿中性配体的不对称性能够增强其与镧原子之间的结合力，进而提高混配型配合物的挥发性。以配合物2为前驱体，臭氧为氧源，成功的在SiO2/Si（100）衬底上沉积得到La2O3薄膜。最佳的工艺参数：前驱体2和臭氧的脉冲时间分别为6和5 s，薄膜的生长速率为0.032 nm/cycle, ALD窗口为240～280℃。 关键词： 混配型镧配合物;原子层沉积;热分析;La2O3; 专辑： 工程科技Ⅰ辑;工程科技Ⅱ辑 专题： 化学;材料科学;工业通用技术及设备 分类号： O641.4;TB383.2 |
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