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Electrical conduction mechanism in silicon nitride and oxy-nitride-sputtered thin films
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DOI
10.1063/1.1915538 doi
其它 期刊:Journal of Applied Physics
作者:M. Vila; E. Román; C. Prieto
出版日期:2005-05-28
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寻凝 在 2026-03-31 19:58:36 发布自江苏,悬赏 10 积分
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