Etch characteristics of MgO thin films in Cl2/Ar, CH3OH/Ar and CH4/Ar plasmas

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标题	Etch characteristics of MgO thin films in Cl2/Ar, CH3OH/Ar and CH4/Ar plasmas
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X1...
DOI	10.1016/j.vacuum.2013.10.012 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：I. Lee; Tea Young Lee; S. Hwang; C. Chung 出版日期：2014-03-01
求助人	周国权在 2026-10-27 18:13:10 发布自江苏，悬赏 40 积分
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