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标题
Piezoelectrically driven translatory optical MEMS actuator with 7mm apertures and large displacements
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.2077101
DOI
10.1117/12.2077101 doi
其它 期刊：SPIE Proceedings
作者：H.- J. Quenzer; S. Gu-Stoppel; F. Stoppel; J. Janes; U. Hofmann; et al
出版日期：2015-02-27
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oliver 在 2026-10-26 18:36:21 发布自重庆，悬赏 20 积分
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