Atomic Layer Deposition of Al2O3 with Alcohol Oxidants for Impeding Substrate Oxidation

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标题	Atomic Layer Deposition of Al2O3 with Alcohol Oxidants for Impeding Substrate Oxidation 用醇氧化剂原子层沉积Al2O3以防止衬底氧化相关领域基质（水族馆）原子层沉积薄膜化学气相沉积材料科学氧化物吸附电介质化学工程纳米技术化学有机化学光电子学海洋学工程类地质学冶金
网址	https://doi.org/10.1149/ma2019-02/24/1152
DOI	10.1149/ma2019-02/24/1152 doi
其它	期刊：Meeting abstracts 作者：无法获取出版日期：2019-01-01
求助人	六便士在攒在 2025-05-16 16:03:49 发布自安徽，悬赏 10 积分
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