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标题
Quantum chemical study of the mechanism of aluminum oxide atomic layer deposition
氧化铝原子层沉积机理的量子化学研究
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网址
https://doi.org/10.1063/1.1473237
DOI
10.1063/1.1473237 doi
其它 期刊：Applied Physics Letters
作者：Yuniarto Widjaja; Charles B. Musgrave
出版日期：2002-05-06
求助人
tsy 在 2025-05-21 03:54:28 发布自日本，悬赏 10 积分
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