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 High efficiency and high stability 1KW RF generator for plasma applications 用于等离子体应用的高效率和高稳定性1KW射频发生器
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期刊：Asia-Pacific Microwave Conference 作者：Ho‐Joon Yoo; Sang‐Hyun Chun; Lee Dongheon; Ji‐Yeon Kim; Jong‐Heon Kim 出版日期：2008-12-01 |
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