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标题
Enhancement of ionised metal flux fraction without compromising deposition rate in industrial magnetron sputtering
在不影响沉积速率的情况下提高工业磁控溅射中电离金属通量分数
相关领域
沉积（地质） 溅射沉积 焊剂（冶金） 材料科学 腔磁控管 金属 溅射 分数（化学） 冶金 环境科学 分析化学（期刊） 环境化学 纳米技术 化学 薄膜 地质学 色谱法 沉积物 古生物学
网址
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2024.131142
DOI
10.1016/j.surfcoat.2024.131142 doi
其它 期刊：Surface and Coatings Technology
作者：Peter Klein; Jaroslav Hnilica; Vjačeslav Sochora; Pavel Souček; Matej Fekete; et al
出版日期：2024-08-01
求助人
df 在 2025-06-10 11:59:01 发布，悬赏 10 积分
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