E-beam simulation for advanced SEM applications in semiconductor industry

已完结

文献求助详情

标题	E-beam simulation for advanced SEM applications in semiconductor industry 半导体工业中高级SEM应用的电子束模拟相关领域薄脆饼计算机科学过程（计算）计量学散射半导体器件制造电子工程计算科学材料科学计算机工程光学光电子学物理工程类操作系统
网址	https://doi.org/10.1117/12.3010074
DOI	10.1117/12.3010074 doi
其它	期刊：作者：Wooyoung Cheon; Taejin Moon; In Sun Kwon; Jeong Yong Lee; Jae Yong Lee; et al 出版日期：2024-04-10
求助人	Tianling 在 2025-06-11 11:20:54 发布自中国，悬赏 20 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

不忘初心，牢记使命，为科研工作者服务

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: CodeCraft上传了应助文件

1秒前; 蒋蒋发布了新的文献求助10

2秒前; NexusExplorer上传了应助文件

2秒前; 桐桐上传了应助文件

3秒前; 龙卡烧烤店完成签到，获得积分10

3秒前; aldehyde上传了应助文件

4秒前; longyuyan完成签到，获得积分10

4秒前; 852上传了应助文件

4秒前; 大气的寇发布了新的文献求助10

5秒前; 柔弱藏今发布了新的文献求助10

7秒前; 张达发布了新的文献求助10

7秒前; 香蕉觅云上传了应助文件

8秒前; 张远幸完成签到，获得积分10

11秒前; kxawyy发布了新的文献求助10

11秒前; 大气的寇完成签到，获得积分10

12秒前; 完美时间线发布了新的文献求助10

12秒前; Ava的应助被徐徐采纳，获得10

14秒前; morill完成签到，获得积分10

15秒前; 搜集达人的应助被树袋采纳，获得30

16秒前; WhiteCaramel完成签到，获得积分10

17秒前; 科研通AI5上传了应助文件

18秒前; 李健的粉丝团团长上传了应助文件

20秒前; 张达完成签到，获得积分20

21秒前; limingming完成签到，获得积分10

22秒前; 剑指东方是为谁的应助被柔弱藏今采纳，获得10

23秒前; CipherSage上传了应助文件

23秒前; 在水一方上传了应助文件

23秒前; Liuu发布了新的文献求助10

24秒前; 罗龙生发布了新的文献求助10

25秒前; Dreamer.发布了新的文献求助10

28秒前; abcdefghi__lmnop发布了新的文献求助10

30秒前; 楠茸完成签到，获得积分10

35秒前; ding上传了应助文件

37秒前; abcdefghi__lmnop完成签到，获得积分10

38秒前; 夏紊完成签到，获得积分10

39秒前; 烟花的应助被Wang采纳，获得10

41秒前; 妞妞公主喜欢派大星发布了新的文献求助10

41秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

45秒前; jackten发布了新的文献求助10

45秒前; Aran_Zhang上传了应助文件

46秒前