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 Hafnium oxide thin film grown by ALD: An XPS study ALD法生长氧化铪薄膜的XPS研究
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期刊：Surface Science Spectra 作者：Davide Barreca; Andrian Milanov; Roland A. Fischer; Anjana Devi; Eugenio Tondello 出版日期：2007-12-01 |
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