Progress and future directions for atomic layer deposition and ALD-based chemistry

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标题	Progress and future directions for atomic layer deposition and ALD-based chemistry 原子层沉积和ALD基化学的进展和未来方向相关领域原子层沉积纳米技术沉积（地质）图层（电子）材料科学工程物理化学化学工程物理工程类地质学古生物学沉积物
网址	https://doi.org/10.1557/mrs.2011.238
DOI	10.1557/mrs.2011.238 doi
其它	期刊：Mrs Bulletin 作者：Gregory N. Parsons; Steven Z. George; Mato Knez 出版日期：2011-11-01
求助人	double bubble 在 2024-08-17 02:55:40 发布自湖北，悬赏 10 积分
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