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 Unveiling Microscopic Mechanisms of Chemical Mechanical Polishing via Multi‐Scale Theoretical Calculations 通过多尺度理论计算揭示化学机械抛光的微观机理
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期刊：Journal of Computational Chemistry 作者：Bin Hu; Xinhuan Niu; Jiakai Zhou; Changxin Dong; Chao He; et al 出版日期：2025-08-09 |
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