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标题
Si-target power dependence on the microstructure, mechanical behavior, and electro-optical characteristics of magnetron sputtered Six(TiZrHf)1-xN coatings
Si靶功率与磁溅六（TiZrHF）1-SEN涂层的微观结构、机械行为和光电特性的关系
相关领域
材料科学 微观结构 涂层 复合材料 残余应力 电阻率和电导率 溅射沉积 腔磁控管 粒度 冶金 溅射 薄膜 纳米技术 电气工程 工程类
网址
https://doi.org/10.1016/j.jmrt.2022.11.115
AI链接 doi.orgdoi.org
DOI
10.1016/j.jmrt.2022.11.115 doi
其它 期刊：Journal of Materials Research and Technology
作者：Du‐Cheng Tsai; Zue‐Chin Chang; Po-Sheng Kuo; Erh-Chiang Chen; Yen Lin Huang; et al
出版日期：2022-11-24
求助人
Nickname 在 2025-07-15 22:04:25 发布，悬赏 10 积分
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