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![]() 承载电信光子发射器的金属辅助化学蚀刻硅纳米柱
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期刊:Journal of Applied Physics 作者:M. Hollenbach; Nagesh S. Jagtap; Ciarán Fowley; Juan Baratech; Verónica Guardia-Arce; et al 出版日期:2022-07-15 |
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